壓力傳感器元件壓力測量方法的介紹

壓阻傳感器的高精度及其測量絕對壓力、表壓和壓差的能力使其得到廣泛應(yīng)用。對于工業(yè)設(shè)備和機(jī)械，壓力傳感器提供的信息可以用來最有效地操作液壓或氣動設(shè)備，然后與新的工業(yè)4.0標(biāo)準(zhǔn)連接。

汽車對燃料效率和減少有害排放的要求越來越高，需要長期穩(wěn)定和高精度的傳感器。除了介質(zhì)電阻，一些用途要求壓力傳感器具有抗凍性，但最重要的是，傳感器需要在整個壽命內(nèi)提供可靠的信號。

所有用途對壓力模具的獨(dú)特性提出了越來越高的要求，需要在模具水平上具有特定的設(shè)計特性。TDK壓力傳感器產(chǎn)品系列的開發(fā)重點(diǎn)是提高靈敏度，以較小的模具尺寸提供高性能。此外，還應(yīng)特別注意介質(zhì)電阻和易處理能力的具體特點(diǎn)。

壓阻壓力傳感方法

測量壓阻壓力。

絕對壓力測量-前側(cè)。

將玻璃粘在真空下的硅上，產(chǎn)生對照真空。被測介質(zhì)與壓力傳感器芯片前側(cè)的有源電子元件接觸。

絕對壓力測量-背面。

對于潮濕或腐蝕介質(zhì)，用額外的玻璃蓋在前側(cè)形成對照室。介質(zhì)用于背入口。

測量壓差和壓差。

測量表壓或壓差前側(cè)與背側(cè)的區(qū)別。高前壓引起的壓差導(dǎo)致輸出信號的正變化。高背壓導(dǎo)致輸出信號負(fù)變化。

用于壓力傳感器模具。

以上是壓力傳感器元件壓力測量方法的介紹。

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