就電阻式應(yīng)變片式力敏元件而言,彈性體的結(jié)構(gòu)形狀及相關(guān)尺寸對力敏元件的性能有很大影響。因此,測力傳感器的性能主要取決于其彈性體的形狀及相關(guān)尺寸。測力傳感器的彈性體設(shè)計不合理,加工精度較高,要想獲得高的測力性能,必須要有良好的變阻器質(zhì)量,否則將難以實現(xiàn)。如何合理地設(shè)計彈性體是測力傳感器設(shè)計的關(guān)鍵。
彈性體設(shè)計基本上屬于機械結(jié)構(gòu)設(shè)計的范疇,但由于測力性能的要求,其結(jié)構(gòu)與一般機械零件或部件有所不同。一般情況下,一般機械零件或部件只需滿足足夠大的安全系數(shù)就可以了,不需要對受力情況有嚴格要求就可以了。對彈性體而言,除了要滿足機械強度和剛度的要求外,還必須保證彈性體上貼應(yīng)變電阻片的應(yīng)力(應(yīng)變)與受力(受力)之間有嚴格的對應(yīng)關(guān)系;同時,要提高受力傳感器的受力靈敏度,使彈性體上貼應(yīng)變電阻片的應(yīng)力(應(yīng)變)水平更高。
表明彈性體在設(shè)計過程中必須滿足兩個基本要求:
貼合部位的應(yīng)力(應(yīng)變)應(yīng)嚴格與受力相對應(yīng);
貼面部位應(yīng)有較高的應(yīng)力(應(yīng)變)值。
在力敏彈性體的設(shè)計中,常常要遵循應(yīng)力集中的設(shè)計原則,以保證晶片部位的應(yīng)力(應(yīng)變)水平較高,與被力敏彈性體保持嚴格的對應(yīng)關(guān)系,從而提高力敏敏感度和力敏測量精度。
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