壓力傳感器的工作原理是利用具有壓力效果的半導(dǎo)體材料作為敏感元件,利用ISO技術(shù)將半導(dǎo)體材料的敏感芯片封裝在不銹鋼波紋膜的外殼中,在不銹鋼波紋膜和芯片之間充滿硅油。芯片導(dǎo)線通過外殼引出,采取密封措施,防止硅油滲漏到外部或外部壓力介質(zhì),使芯片、硅油、外殼和導(dǎo)線構(gòu)成壓力傳感器。
當(dāng)傳感器處于壓力介質(zhì)中時(shí),介質(zhì)壓力作用于波紋膜,壓制硅油,硅油將膜的壓力傳遞給半導(dǎo)體芯片。芯片受壓后,阻值發(fā)生變化,阻值信號(hào)通過引線引出。不銹鋼波紋膜外殼受壓保護(hù)芯片,因而壓力壓力傳感器能夠在腐蝕性介質(zhì)中感應(yīng)壓力信號(hào)。
壓阻式壓力傳感器通常通過引線連接到惠斯通電橋。通常,敏感芯片沒有增加壓力,電橋處于平衡狀態(tài)(稱為零)。傳感器受壓時(shí),芯片電阻發(fā)生變化,橋梁失去平衡。給橋架增加恒定電流或電壓電源時(shí),橋架將輸出與壓力相對(duì)應(yīng)的電信號(hào),使傳感器的電阻變化通過橋架轉(zhuǎn)換為壓力信號(hào)輸出。
稱重傳感器按轉(zhuǎn)換方式分為光電式、液壓式、電磁力式、電容式、磁極變形式、振動(dòng)式、陀螺式、電陰應(yīng)變式等8種,廣泛應(yīng)用于電阻應(yīng)變式。光電傳感器包括格柵和碼盤。格柵傳感器利用格柵形成的莫爾條紋將角位移轉(zhuǎn)換為光電信號(hào)。格柵有兩種,一種是固定格柵,另一種是安裝在表盤軸上的移動(dòng)格柵。
承重臺(tái)上添加的被測(cè)物體通過傳力杠桿系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)表盤軸,驅(qū)動(dòng)移動(dòng)格柵旋轉(zhuǎn),摩爾條紋也隨之移動(dòng)。利用光電管、轉(zhuǎn)換電路和顯示屏,可計(jì)算出移動(dòng)的摩爾條紋數(shù)量,測(cè)量格柵轉(zhuǎn)角的大小,確定和讀取被測(cè)物體的質(zhì)量。
被測(cè)量物體通過傳力杠桿旋轉(zhuǎn)表盤軸時(shí),代碼盤也轉(zhuǎn)動(dòng)了一定的角度。光電池通過碼盤接收光信號(hào),轉(zhuǎn)換成電信號(hào),通過電路進(jìn)行數(shù)字處理,最后在顯示器上顯示代表測(cè)量質(zhì)量的數(shù)字。光電傳感器主要用于機(jī)電結(jié)合秤。
原理上,突發(fā)事件的壓力傳感器是由外部壓力(或拉力)引起的突發(fā)事件材料的幾何形狀(長(zhǎng)度或?qū)挾?再次變化,材料的電阻變化。通過測(cè)量這種阻力的變化,可以測(cè)量外力的大小。壓力壓力傳感器通常是半導(dǎo)體壓敏材料。半導(dǎo)體壓力傳感器受到外力后,幾何形狀幾乎沒有變化,晶格參數(shù)再次變化,影響帶寬。即使禁帶寬度小,也會(huì)引起載流子密度的巨大變化,最終導(dǎo)致材料阻力率再次發(fā)生變化。兩種材料對(duì)外力變化呈電阻變化,但原理不同。另外,突發(fā)事件材料對(duì)外力的敏感度遠(yuǎn)高于半導(dǎo)體壓力材料,后者的敏感度約為前者的100倍,突發(fā)事件材料的特性受溫度影響小,半導(dǎo)體壓力材料對(duì)溫度的脆弱性。
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