擴(kuò)散半導(dǎo)體壓力傳感器，又稱硅壓力傳感器。這里有三個(gè)主流的擴(kuò)散半導(dǎo)體壓力傳感器。
這種類型的傳感器在80℃以下測量空氣等非腐蝕性氣體，需要用硅凝膠等軟樹脂包裝，即將硅片粘接到金屬底座上，然后引出連接線。為了提高可靠性，用硅凝膠填充成型，其優(yōu)點(diǎn)是成本很低。其原理是待測氣體通過與管殼上的管道連接的橡膠管導(dǎo)入，壓力通過硅凝膠導(dǎo)入，作用于圓形隔板的上部，下部受到大氣壓力。在壓力下，兩個(gè)壓差使隔板凹陷。
該硅壓力傳感器安裝在發(fā)動機(jī)系統(tǒng)中，為了耐汽油蒸汽的110℃高溫，穩(wěn)定工作，這里不能使用樹脂，需要在金屬底座上用玻璃連接硅片和硅座。
金屬底座和硅片的熱膨脹系數(shù)不同，所以用5毫米厚的硅片緩沖。管道安裝在無組件的硅片內(nèi)側(cè)，當(dāng)管殼為真空時(shí)檢測絕對壓力。
流量計(jì)采用硅壓力傳感器，內(nèi)部填充液體，主要用于油壓和成套設(shè)備作為流量計(jì)。其結(jié)構(gòu)是將硅片安裝在底座上后，用薄型SUS隔板密封管殼上部，內(nèi)部密封硅油。由于測量體只接觸SUS隔板，可以承受一些腐蝕性氣體和液體，其特點(diǎn)是成本高。
另外，硅壓力傳感器的檢測方式有三種：壓差顯示的壓力型、絕對壓力型和硅片兩側(cè)管道的二差壓型。
深圳市力準(zhǔn)傳感技術(shù)有限公司是專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)高品質(zhì)高精度力傳感器的廠家。主要產(chǎn)品有微型傳感器、S型傳感器、稱重傳感器、測力傳感器、壓力變送器、控制儀表等力控產(chǎn)品達(dá)千余種，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于多種新型和智能化高端領(lǐng)域，包括工業(yè)自動化生產(chǎn)線、機(jī)械制造、醫(yī)療、紡織、汽車、3C、新能源、機(jī)器人、冶金以及交通等領(lǐng)域。
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